미국과 일본이 정부 주도로 초미세 회로에 필수인 '극자외선(EUV)' 노광장비를 민관 연구소에 도입하는 방안을 추진하고 있다. EUV는 수천억원에 이르는 고가의 장비로, 첨단 기술 확보와 산업 생태계 강화에 공격적인 투자를 단행해 주목된다.

25일 업계에 따르면, 미국 국가반도체기술센터(NSTC)는 뉴욕주 소재 올버니 나노테크 단지에 EUV 노광장비 반입을 완료했다. 센터는 다음달부터 기업 대상으로 EUV 서비스를 제공할 계획이다.

NSTC는 미국 정부가 50억달러(약 6조8000억원)를 투자....