세미툴 "스펙트럼"
구리 장비 시장의 새로운 강자로 부상하고 있는 미국의 세미툴은 이번 전시회에 새로운 개념의 구리 도금장비인 「LT210c」와 구리 공정용 일괄 웨이퍼 세정장비 「스펙트럼(Spectrum)」을 출품했다.
이번에 선보인 양산용 구리도금장비 LT210c는 구리칩 제조공정에서 구리 배선(Interconnect)용으로 사용되는 장비로 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩이 가능하고 고 균일성, 저 저항률(Low Resistivity), 고 전자이동저항(High Electromigration Resistance) 등의 장점을 지녔다.
또한 자체 개발한 세정용 체임버를 장착, 도금막에 전혀 손상을 주지 않고도 웨이퍼 후면과 가장자리의 구리 물질을 완벽히 제거할 수 있으며 시간당 70장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있다.
이와 함께 출품된 차세대 웨이퍼 세정장비인 스펙트럼은 자동 기판이송기능과 단일 배스 구조를 채택, 전체 장비 크기가 기존 제품의 3분의 1 수준에 불과한 구리칩 양산용 일괄 처리 장비로 52장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다.
세미툴은 또한 10개의 체임버로 구성된 단일기판(매엽식) 세정장치인 「Millennium」과 회전 웨이퍼 건조기(Spin Dryer) 「SRD」 장비도 함께 출품했다.