한국베리안(대표 김용길 http://www.vsea.com)은 최근 삼성전자에 300㎜ 및 200㎜ 웨이퍼용 이온주입기 2대를 납품했다고 19일 밝혔다.
200㎜ 웨이퍼용 VIISta 80은 현재 삼성전자의 양산라인에 널리 채택돼 있는 기종으로 이번에 공급된 모델은 300㎜ 웨이퍼에까지 확장 적용할 수 있는 모델이다.
또 300㎜ 전용 장비인 VIISta 810은 자체적인 단일 웨이퍼 기술을 적용해 공정의 유연성을 높였을 뿐 아니라 유지·보수 비용을 획기적으로 줄인 것이 특징이다.
한국베리안은 “현재 전세계적으로 300㎜ 웨이퍼 생산라인에 50대 이상 도입된 VIISta 810 모델을 삼성전자에도 납품하게 돼 기쁘다”며 “앞으로 지속적인 기술지원을 펼쳐나가겠다”고 덧붙였다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>