LG실트론(대표 박영용 http://www.lgsiltron.co.kr)은 1985년부터 실리콘 웨이퍼를 생산해왔다.
지난 92년 R&D센터 설립 이후 95년 대구경 웨이퍼 단결정을 생산하기 시작했고 2001년에는 자체 개발한 8인치 제품을 만들기 시작했다. 2003년에는 12인치 제품도 시장에 선보였다. 2004년에는 KOSHA & OSHAS 18001 공동 인증도 받았다.
LG실트론은 단결정 성장에서부터 웨이퍼 가공에 이르기까지 일관 생산 공정을 갖추고 있는데 웨이퍼 생산에는 다른 어떤 분야보다 나노 기술이 중요하다.
LG실트론이 나노코리아에서 선보이는 신기술 중 먼저 눈에 띄는 것은 나노 소자를 위한 유니크 실트론 디그레이드(D-grade) 웨이퍼다.
LG실트론은 글로벌 경쟁력 확보를 위해 고유 기술의 차세대 기가급, 나노 소자용 웨이퍼를 개발했다. 융액대류 최적화 기술을 이용하여 세계 최고의 생산성 혁신 기술을 통한 제품 수율 경쟁 우위를 확보했다.
향후 메모리, 비메모리용 차세대 전략 제품 및 파생 기술 적용을 통해 사업 다각화에 기여한다는 방침이다.
다음은 시스템 LSI용 프로시드 웨이퍼다. 소자의 고집적화에 따라 고기능성, 고품질의 실리콘 기판의 요구가 증가하고 있다. 이와 같은 기술 추이에 따라 LG실트론은 1200℃ 이상 고온의 열처리 기술을 통해 무결함 층 및 오염 제어 기술을 확보했다.
이를 이용, 소자 작동 영역에서의 무결함 기판 개발에 성공했다. LG실트론은 지속적인 연구 개발을 통해 고객의 요구를 수렴한 8인치와 12인치 웨이퍼 품질을 확보하고 양산 체제를 구축할 예정이다.
광·전자 소자용 GaN 웨이퍼도 LG실트론의 핵심 기술이다. GaN on Si 기판 개발은 기존의 규소(Si) 반도체의 특성 및 성능에 의해 제한되었던 광·전자 산업의 기술적 한계를 극복하고 고부가가치 산업의 창출과 산업 발전을 가능케 할 것으로 예상된다.
GaN on Si 기판은 두 물질의 물리적 특성을 조합한 복합적 기능을 지닌다. 기존 반도체의 특성 및 성능은 물론이고 다양한 광·전자 소자 응용에 높은 잠재 가능성을 가지고 있다.
LG실트론은 고효율 태양전지 및 기판도 전시한다. 태양전지를 이용한 태양광 발전은 환경 친화적으로 화석 연료를 이용한 발전 방식과 달리 환경 오염이나 소음 발생이 없고, 석유 자원과 같이 고갈의 염려가 없는 무한한 에너지원이다.
LG실트론의 태양전지용 기판은 고품질을 최우선으로 다양한 크기와 박형화 기판 개발을 하고 있다. 태양전지는 고비용 공정 대신 저가 공정을 개발하여 고효율 저가형 태양전지 연구에 주력하고 있다.