나노코리아 2005에는 세계 7개국 92개 기관이 총 142부스 규모로 전시회에 참가하며 심포지엄에서는 8개국 56명의 연사가 나노소자·나노소재·나노 공정 및 장비 등 10개 분야에 걸쳐 열띤 강의를 펼친다.
삼성전자·LG전자 등 국내 반도체·디스플레이의 주요 업체들과 LG화학·실트론·제일모직 등의 대기업, 큐딕스·엔티베이스 등 탄탄한 나노 전문 업체들도 미래를 선도할 나노 기술들을 선보인다.
심포지엄에서는 나노 물질을 이용한 디스플레이 및 에너지 분야의 선구자인 독일의 미카엘 그라첼 박사와 코닥의 연구개발 책임자 이언 뉴잉턴 등 세계적 석학들이 강연한다. 특히 올해 발표자 중에는 나노 기술의 상용화에 주력하는 사람이 많아 산업계에 더 큰 도움이 될 것으로 전망된다.
올해 주목할 업체로는 먼저 나노 기술을 이용한 획기적인 데이터 저장 시스템 등을 출품하는 LG전자를 들 수 있다. 이 기술은 마이크로 크기의 칩을 이용해 폴리머 저장공간에 나노급으로 데이터를 저장하는 것으로 MEMS와 ASIC, 나노 기술의 결합이라 할 수 있다. 또 일반 반도체의 1000분의 1 수준인 0.05㎚급의 패터닝 기술을 적용해 빛으로 신호를 주고받는 광반도체 및 나노 포토닉스 기술, 금형처럼 쉽게 나노 패턴을 새길 수 있는 나노임프린트 기술 등을 소개한다.
LG화학은 고품위 인쇄 및 기능성 전자소재 등에 적용 가능한 첨단 코팅 기술을, 실트론은 기가급 나노 소자용 실리콘 웨이퍼와 태양전지 패널 등을 소개한다.
삼성전자는 차세대 주력 메모리인 80㎚ DDR3 SDRAM의 시제품과 현존 메모리 중 최대 용량인 2Gb DDR2 SDRAM, 60㎚ 기술의 8Gb 낸드 플래시 등을 선보인다. 제일모직은 이방도전성필름(ACF)의 원소재인 나노 미립자와 CMP슬러리, 고기능 나노 복합소재 등을 출품한다.
한국이 전통적으로 약세를 보이던 계측·테스트 및 나노 장비 등의 분야에서도 전문 업체들이 주목할 만한 움직임을 보이고 있다.
큐딕스는 1㎚∼100㎛까지의 나노 입자 측정이 가능, 외산 제품에 비해 측정 범위가 넓고 짧은 시간 안에 결과를 얻을 수 있는 나노 입도측정기를 출품, 세계를 놀라게 한다는 각오다. 또 세포·생체조직·반도체 표면 등을 3차원으로 관측할 수 있는 콘포칼 현미경을 개발중이다.
PSIA는 극미세 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간 상호 작용력을 측정해 시료 표면의 물리적 성질을 측정하는 원자현미경을 선보인다. APTC는 ICP 형식의 플라즈마 소스 기술인 ACP를 자체 개발해 이를 적용한 나노급 식각 장비를 선보인다. 세메스는 탄소나노튜브(CNT) 대량 합성 장치와 기판에 CNT를 직접 성장시키는 CNT-CVD 장치를 출품, 반도체 및 디스플레이 분야의 CNT 장비 관련 기술력을 과시한다. NND는 30㎚의 선폭을 구현한 나노임프린트 장비를 출품한다.
소재 분야에서도 탄소나노튜브 및 은 나노, 광촉매, 각종 전자소재 등을 중심으로 전문 업체들의 움직임이 활발하다. 대주전자재료는 환경 오염 방지 및 유해 물질 제거 기능을 가진 나노 입자 광촉매와 PDP용 무기 재료 등을 선보인다. 엔티베이스는 은(銀)을 비롯, 니켈·텅스텐 등 각종 금속·비금속의 나노 분말 제조 기술을 확보해 가전·전자·건축 등 다양한 분야에 적용하고 있다. 석경에이티는 RFID용 실버 페이스트를 비롯, 나노급의 각종 무기 재료를 출품한다.
대학 벤처 기업인 나노카본은 분산성이 개선된 탄소나노튜브를 내놓았고 CNT도 화학기상증착법을 이용한 연속공정 방식으로 대량 생산 및 단가 하락을 가능케 한 다중벽 탄소나노튜브를 출품한다.
펜실베이니아 주 정부 한국사무소는 미국 내 첨단 나노 벤처 기업들을 대거 소개해 눈길을 모으고 있다. 나노 람다는 피츠버그대학교 나노기술연구센터 김홍구 교수팀의 나노 광학기술을 이용한 메탈렌즈와 실험실용 분광기 기능을 칩에 집적한 스펙트럼 센서를 선보인다. 나노호라이즌은 나노 입자를 적용한 의학용 항균 소재, 매스 분광기, 센서 등을 출품하며 마흐원은 친환경 기능성 항공우주 산업용 나노 소재를 내놓는다.
한세희기자@전자신문, hahn@