엘오티베큠(대표 오흥식 http://www.lotvacuum.com)은 독일 라이볼트베큠과 반도체 공정용 가압펌프(Blower Pump) 공동 개발을 위한 계약을 맺었다고 3일 밝혔다.
가압펌프는 진공 펌프의 용량을 증대시키기 위하여 펌프에 추가로 장착되는 부품 펌프이다. 엘오티베큠은 부품 개발비용의 50%인 50만유로(한화 6억2500만원)을 부담하고 생산 개시 후 이 제품의 독점 구매권을 갖게 된다. 이 회사는 내년 5월경 개발을 마친다는 계획이다.
오흥식 사장은 “이번 가압펌프 공동 개발로 기존 펌프의 3분의 2 크기에 1.5배의 배기 속도를 지닌 소형 펌프 개발이 탄력을 받게 됐다”고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@