‘세계 최고 소자·패널산업, 그리고 그에 걸맞은 장비산업’
한국은 초일류 반도체·디스플레이 산업을 기반으로, 이를 지원하는 장비산업에서 또한 초일류를 지향하고 있다.
국내 반도체·디스플레이 장비산업 발전의 상징적인 존재가 주성엔지니어링이다. 아직 장비산업은 중소기업 제품군에 머물고 있지만, 핵심장비를 국산화해 장비시장의 국내 경쟁력을 높이며 관련산업을 선도하고 있다.
주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 반도체 및 LCD전공정 과정의 20%를 처리할 수 있는 LCD용 PE-CVD(플라즈마 화학증착장치), ALD(원자층증착장치), UHV-CVD, HDP-CVD, LP-CVD, MO-CVD, 에처 등의 다양한 제품을 한국 및 전세계 주요 반도체, LCD 회사에 공급하며 글로벌 종합 장비회사로 발전해 나가고 있다.
지난 2002년말부터 5세대 LCD용 PECVD(플라즈마 화학증착) 장치를 공급하기 시작한 주성은 5.5세대, 6세대, 7세대 LCD용 PECVD 장치를 한국, 대만, 중국의 LCD업체에 공급하면서 시장진입 만 2년만인 2004년 전세계 시장 점유율 2위의 LCD용 PECVD장치 회사로 성장하였다. 또 세계 최초로 8세대 LCD용 PECVD 장치를 개발, 전세계 LCD 회사의 주목을 받았다.
주성의 8세대용 LCD용 PECVD는 기존의 클러스터 방식이 아닌 대형 LCD양산라인의 효율적인 동선구성과 생산성 향상에 적합한 In-line방식으로 10개까지의 공정 챔버를 부착할 수 있어 생산성을 향상시켰으며, 유리 기판의 초 대형화에 따라 발생하는 균일도 저하, 증착 속도 저하 등의 문제를 자체의 특허 기술을 통해 획기적으로 개선했다.
차세대 나노급 디바이스 제작에 필수적인 장치인 주성의 ALD(원자층증착장치)장치는 경쟁사보다 3배 이상의 높은 생산성과 우수한 막질을 형성할 수 있는 장치로 2001년 HSG LPCVD 장치에 이어 2004년 산업자원부의 세계 일류상품으로 선정되었다. 국내 주요 반도체 양산라인에서 성공적인 양산 성과를 내고 있으며 대만, 일본, 유럽, 미국 등의 주요 반도체 회사에 장치를 공급하고 있다.
주성의 ALD장치는 탁월한 막 품질을 낼 뿐만 아니라 200mm 또는 300mm 웨이퍼 4∼5장을 동시에 처리할 수 있는 세미 배치 타입(Semi-batch type)으로 설계되어 기존 장치의 낮은 생산성을 극복하여 업계로부터 좋은 평가를 받고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@