옥사이드 박막트랜지스터(TFT) 패널, 올해부터 개화...업체들 신규 투자 가속도

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저전력 설계와 소형화가 강점인 옥사이드(Oxide·산화물 반도체) 박막트랜지스터(TFT) 디스플레이가 시장에서 빠른 속도로 세력을 확산하고 있다. 애플이 조만간 출시할 아이패드프로에 옥사이드 TFT패널을 적용하기로 하면서 저온폴리실리콘(LTPS) TFT와 함께 차세대 유력 패널로 급부상할 전망이다.

23일 업계에 따르면 최근 국내외 디스플레이 업계가 프리미엄 디스플레이 기판인 옥사이드 TFT패널 생산능력을 확대하고 있다. 기존 비정질실리콘(a-Si) TFT LCD 생산라인 일부를 옥사이드 라인으로 전환하거나 증설한다.

옥사이드 TFT는 기존 비정질실리콘 TFT보다 전자이동도가 빨라 저전력 설계가 가능하고, 배터리 효율을 극대화할 수 있다. 두께도 기존 패널에 비해 30% 이상 줄일 수 있어 완제품 슬림화에도 유리하다. 장점을 극대화할 수 있는 중소형 크기 태블릿PC 등에 우선 적용되고 있다.

기술변화 바람은 애플이 몰고 왔다. 애플은 오는 9월 출시 예정인 아이패드프로에 옥사이드 TFT패널을 적용한다. 향후 아이맥, 아이패드 기타 제품에도 옥사이드 TFT패널 적용 가능성이 높아졌다. 국내외 디스플레이 업체는 이 같은 흐름에 맞춰 생산량을 늘리고 있다.

국내에서는 삼성디스플레이가 천안 5세대(1100×1300㎜) L6라인을 옥사이드 라인으로 전환하고 있다. 현재는 월 4만장 생산 규모를 갖췄고 내년까지 월 10만장 규모로 증설할 계획이다. LG디스플레이도 파주 8세대 라인인 P8·P9 라인에 각각 옥사이드 라인 개조와 증설 중이다.

일본에서는 샤프가 최대 생산시설을 보유하고 있다. 샤프는 8세대(2200×2500㎜) 라인에서 월 3만장 이상을 생산하고 있으며 애플 요구에 맞춰 추가 증설할 계획이다.

옥사이드 박막트랜지스터(TFT) 패널 수요 증가로 업체들이 관련 설비 투자에 나서고 있다. 비아트론에서 연구원이 옥사이드 TFT 패널용 열처리 장비에 들어갈 부품을 확인하고 있다.
<옥사이드 박막트랜지스터(TFT) 패널 수요 증가로 업체들이 관련 설비 투자에 나서고 있다. 비아트론에서 연구원이 옥사이드 TFT 패널용 열처리 장비에 들어갈 부품을 확인하고 있다.>
옥사이드 박막트랜지스터(TFT) 패널, 올해부터 개화...업체들 신규 투자 가속도

중국도 이에 가세할 준비를 하고 있다. 파일럿 라인을 가동 중인 중국 업체들은 올해를 기점으로 본격적인 양산에 나선다. BOE, CEC-판다, CSOT 등이 대표적이다. 중국 정부는 2016년 LTPS·옥사이드 TFT 기반 LCD 생산량을 연 500만㎡로 늘리는 것이 목표다.

장비 업계 전망도 밝다. 옥사이드 TFT 공정은 수백도 고온에서 열처리를 거쳐 결정화하는 작업이 필수다. 기존 a-Si TFT에서는 수요가 적었던 장비다. 이 분야에선 국내 비아트론, 테라세미콘 등이 독보적인 기술력을 갖추고 있다. 시장 수요가 늘어날 것으로 전망되면서 여러 장비 업체가 열처리 장비 시장 진출을 앞다퉈 준비하고 있다.

업계 관계자는 “옥사이드 TFT는 유기 소재를 사용하기 때문에 외부 환경에 민감하게 반응해 수율 확보에 어려움이 있지만 상당한 기술 진척이 이뤄진 상태”라며 “머지않아 LTPS 기판과 함께 차세대 기판 기술로 양대 산맥을 형성할 것”이라고 전망했다.

성현희기자 sunghh@etnews.com