반도체, 디스플레이 생산 공정용 건식진공펌프, 공기정화장치(스크러버) 솔루션 전문업체 에드워드코리아는 세미콘코리아 2016 전시회에 참가해 고효율 친환경 건식진공펌프, 진공, 스크러버를 통합한 일체형 시스템 등 전략 제품을 선보였다.
반도체와 디스플레이 전공정 과정 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 진공 상태란 밀폐된 공간에 기체 분자 대부분이 제거된 후를 의미한다. 각 공정 특성에 맞는 진공도 유지 여부가 수율, 생산성과 직결된다. 진공펌프 시장은 크게 건식(Dry)과 습식(Oil) 방식으로 나뉜다. 최근에는 환경오염 우려가 없는 친환경 건식 제품이 시장 점유율 대부분을 차지한다. 영국 에드워드는 이 같은 건식진공펌프 시장에서 업계 톱 수준의 점유율을 가진 업체다.
에드워드는 세미콘코리아 2016에서 효율적 에너지 펌핑 구조로 기존 건식펌프 대비 소비전력을 43% 절감한 iMX1200을 선보인다. 전력 소비를 낮춰 유지비용을 절감할 수 있다.
진공 수준을 높인 iXH3050은 부산물과 가스 등이 많이 생성되는 증착 공정 과정에서 활용 가능하다. 다양한 온도에서 작동하며 응축, 도금 등에 의한 부산물 축적현상 최소화에 최적화됐다.
E-제니스는 진공펌프와 스크러버 일체형 시스템으로 고효율, 낮은 유지비용을 달성할 수 있도록 돕는다. 최신 설비사양과 환경 요구사양을 만족한다.
이성민 에드워드코리아 대표는 “에드워드는 고객사 탄소배출량 감축에 도움을 줄 수 있는 몇 안 되는 솔루션 기업 중 하나”라며 “한국법인이 소화하는 모든 제품은 천안 생산기지에서 생산해 한국 경제에 기여하고 있다”고 말했다.
에드워드코리아 임직원 숫자는 2016년 현재 총 900명이다. 외부 협력업체까지 합하면 총 7000여명 고용창출에 직간접적 영향을 미쳤다는 것이 회사 측 설명이다. 지난해 이 회사가 지불한 임금은 약 400억원에 달했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com