AP시스템은 중국 비전옥스 8.6세대(2290×2620㎜) OLED 신규 생산라인 '허페이 V5' 프로젝트에 ELA(Excimer Laser Annealing) 장비를 단독 공급하는 계약을 체결했다고 25일 밝혔다. 수주 금액은 고객사 영업비밀 보호 요청으로 공개하지 않았다.
총 550억 위안 규모 8세대 OLED 투자 프로젝트인 허페이 V5 장비 수주전에는 PECVD, 스퍼터, ELA 등 주요 분야에서 한국을 포함한 글로벌 장비 제조사가 참여해 치열한 경쟁을 벌인 것으로 전해졌다.
ELA 장비는 TFT 공정에서 비정질 실리콘(a-Si)을 폴리실리콘(p-si)으로 전환, 전자 이동속도를 100배 이상 향상시키는 핵심 장비로 고해상도 OLED 패널의 효율성과 품질을 좌우한다.
AP시스템은 레이저 공정 장비중 하나인 LLO(Laser Lift-Off) 장비 추가 수주도 기대하고 있다.
중국 디스플레이 업계에서는 비전옥스를 포함해 BOE, CSOT, 티엔마 등 다수 패널 제조사들이 8세대 OLED 투자에 착수하거나 투자를 검토 중이다. 관련 장비 수요가 커지고 있다.
AP시스템 관계자는 “V5 라인 수주를 계기로 중국 주요 OLED 패널사와 협업을 강화하고 8세대 OLED 투자에 선제 대응하겠다”고 말했다.
정현정 기자 iam@etnews.com
