알세미는 이번 나노팹 실증을 계기로 알스피어(Alsphere)를 단순 예측형 AI에서 반도체 공정 개발을 지원하는 'AI 에이전트(Agentic AI)'로 고도화할 계획이다. 반도체 공정 결과를 예측하는 AI를 앞으로는 엔지니어가 요구하는 목표에 맞춰 최적의 공정 조건까지 스스로 탐색하는 'AI 에이전트'로 진화시키는 것이 궁극적 목표다.
기존 알스피어가 입력된 공정 조건에 따른 결과를 예측했다면, 향후 개발할 AI 에이전트는 목표 성능을 구현하기 위한 공정 조건을 직접 탐색하는 방식이다.
엔지니어가 특정 선폭과 박막 두께, 균일도 등 목표 사양을 제시하면 AI가 디지털 트윈 환경에서 다양한 조건을 가상실험하고 결과를 비교한다. 이를 통해 가능성이 낮은 조건을 제외하고 실제 팹에서 검증할 후보 조건을 선별한다.
실제 실험 결과를 다시 AI 모델에 반영해 예측 정확도를 높이는 폐루프(Closed-loop) 공정 개발 체계 구현이 최종 목표다.
알세미는 이를 통해 수십 차례의 실험과 수개월이 소요되는 공정 조건 도출 기간을 며칠 단위로 단축한다는 구상이다.
기술 개발을 위해 고대역폭메모리(HBM) 분야 권위자인 김정호 한국과학기술원(KAIST) 전기및전자공학부 교수를 최고기술책임자(CTO)로 영입했다. 김 교수는 이달부터 알세미에 합류해 AI 에이전트 기술 개발과 로드맵 수립을 이끈다.
알세미는 우선 공정 예측 모델과 시뮬레이션 도구를 AI 에이전트가 활용할 수 있도록 재구성하고, 공정 조건 최적화와 이상 원인 분석 기능을 갖춘 전문 에이전트를 개발할 계획이다.
이후 여러 에이전트가 협업해 공정 설계부터 장비 제어까지 수행하는 자율 공정 개발 체계로 발전시킨다는 방침이다. 적용 범위도 현재 STI 모듈에서 차세대 게이트올어라운드(GAA) 공정으로 확대한다.
김정호 CTO는 “AI 에이전트가 실제 반도체 공정 개발에 활용되기 위해서는 공정을 이해하고 다양한 조건에서 발생할 결과를 예측할 수 있는 전문적인 기반이 필요하다”며 “알스피어의 공정 예측과 디지털 트윈 기술을 기반으로 지능과 자율성을 갖춘 반도체 전문 AI 에이전트로 발전시키겠다”고 말했다.
이인희 기자 leeih@etnews.com
