램리서치 "식각장비, 세우지 않고 유지보수"…1년간 무중단 운용 성공

램리서치는 자가 유지보수 기술로 반도체 식각장비를 1년 동안 중단 없이 가동하는데 성공했다고 29일 밝혔다.

식각은 웨이퍼에 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 공정을 뜻한다. 이 공정은 주기적인 유지보수와 소모품 교체가 필요하다. 안정된 성능 유지를 위해 월 또는 주간 단위로 챔버를 열어 부품을 교체하거나 세정한 이후 적격성을 다시 평가해야 했다.

하지만 램리서치는 부품을 자동 교체하는 방식을 도입해 기존 식각장비 한계를 극복했다고 설명했다.

바히드 바헤디 램리서치 부사장은 “1년 전 고객사와 함께 세정 작업을 할 필요 없이 365일 동안 가동한다는 목표를 세웠는데, 올 4월 그 목표를 달성했다”며 “자가 유지보수 장비로 인적 개입을 줄이면서 생산 효율을 높일 수 있다는 게 확인됐다”고 말했다.
램리서치는 업계 최초 개발된 자동 소모품 교체 시스템(Corvus R)이 주된 역할을 했고 챔버를 수명이 긴 부품들로 구성해 목표를 달성할 수 있었다고 설명했다. 또 자동 세정 기술 도입과 인텔리전스 솔루션을 도입했다고 덧붙였다.

램리서치 "식각장비, 세우지 않고 유지보수"…1년간 무중단 운용 성공

윤건일 전자/부품 전문기자 benyun@etnews.com