한국아토엔지니어링(대표 오순봉)이 반도체생산과정에서 발생하는 불순물을 획기적으로 줄일 수 있는 가스순환.청정장치 "HGRS(Hot Gas Recirculation Sys-tem)"를 공급한다.
한국아토엔지니어링은 지난해말 개발업체인 미뉴백(NUVAC)사와 독점공급계약을 맺고 올해부터 HGRS의 국내보급에 나서는 한편 최근 시화공단에 조립 라인구축을 완료, 국내조립생산을 시작하는 등 국산화도 적극 추진할 방침 이다. 미뉴백사가 전세계특허를 갖고있는 이 제품은 에처및 CVD의 챔버속에 있는수분과 불순물들을 아르곤분자간의 충돌을 이용해 제거하는 장비로 제어용밸브 5개와 블로어.펌프및 전기적 제어장치로 구성돼 있다.
이제품은 기존의 고진공을 이용하던 장비로 9시간 걸리던 수분-불순물제거작업시간을 2시간이하로 줄일 수 있어 공정장비의 클리닝시스템으로 기존제품을 활발히 대체해 나갈 것으로 기대된다.
한국아토엔지니어링은 이 제품을 반도체장비에 적용할 경우 습도및 불순물 관리의 효율화로 수율을 높일 수 있으며 작업시간절감으로 생산성향상과 원가절감을 실현할 수 있는데다차세대반도체생산환경에 대응할 수 있는 제어 기술을 확보할 수 있다고 설명했다. <이경동 기자>