「최근 도입이 본격화되고 있는 64MD램 생산라인에 들어가는 반도체 장비의 품목별 수요량은 어느 정도일까」
일본 「프레스저널」이 최근 발표한 「97 반도체 제조장치 VLSI 리포트」에 따르면 회로선폭 0.3∼0.25미크론 수준의 64MD램 3세대 제품 생산공장 건설을 위해서는 관련 장비의 구입에만 최소 1조3백억원 이상이 소요될 것으로 추정됐다.
이번 조사를 위해 가상으로 건설된 64MD램 생산공장은 8시간 3교대의 풀가동으로 월 2만5천장의 2백㎜ 웨이퍼를 처리할 수 있으며 총 17개의 확산로 및 RTP 공정과 16개의 각종 리소그래피 공정, 그리고 12개의 이온주입 및 18개의 화학증착(CVD) 공정을 갖추는 것을 전제로 했다.
이러한 가정 아래 건설되는 64MD램 생산라인은 7천억원 정도로 추산되는 16MD램 생산 공장의 장비 구입 비용보다 1.5배 가량 많은 1조3백억원이 소요되며 특히 전공정 장비가 7천1백억원 규모로 전체 투자 비용의 69% 이상을 차지할 것으로 예측됐다.
이 가상공장에 도입되는 장비를 세부 품목별로 살펴보면 스테퍼가 총 64대로 2천억원 이상이 소요되며 에처와 애셔가 각각 72대와 32대로 총 1천억원 정도가 투자된다. 그리고 총 64대가 필요한 코터 & 디벨로퍼와 96대가 설치되는 웨트스테이션에 각각 7백억원대의 비슷한 액수가 소요된다.
또한 저압,상압,플라즈마,메탈 등의 각종 CVD 장비가 총 58대로 1천56억원 가량의 비용이 요구되며 중전류, 대전류, 고압 등의 각종 이온 주입 장비는 총 24가 설치돼 4백16억원 정도가 투자될 것으로 추산됐다. 다이 및 와이어 본더와 몰딩 등과 같은 각종 조립 장비의 도입에는 총 72억원 정도가 투자되며 프로버, 번인 테스터, 메모리 테스터 등 검사 관련 장비 부문에 총 8백16억원이 소요된다.
그리고 웨이퍼 이송 장치와 가스 공급 및 처리 장치 등 주변 설비에 총 6백억원이 들어가며 1천3백억원 정도가 건물 및 내부 클린룸 설비에 투자될 것으로 예상됐다.
또한 이 보고서는 향후 64MD램 시장에서는 생산 공장 건설을 위한 장비 투자 규모만도 1조원이 넘는 관계로 수율 및 가동률 향상과 함께 새로운 공정의 도입을 통한 투자 및 생산 비용의 절감이 시장 경쟁의 성패를 가르는 핵심 관건으로 부상하게 될 것으로 전망했다.
<주상돈 기자>