日니콘, 대형 LCD 노광장치 내년 출하 계획

　일본 니콘이 대형 유리기판을 사용한 액정표시장치(LCD)용 노광장치를 내년중에 선보일 계획이라고 「일본경제신문」이 보도했다.

　니콘이 선보이는 노광장치는 「마스크」라는 회로원판의 회로패턴을 대형 유리기판 상에 노광하는 장치로 차세대 유리기판 규격인 「80×95㎝」 이상의 크기를 지원하며 독자적으로 개발한 노광방법을 사용해 생산성을 높인 것이 특징이다.

<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>