세계반도체장비·재료협회(SEMI)는 국제 반도체장비 전시회인 「세미콘 재팬 99」를 오는 12월 1일부터 3일까지 지바시 마쿠하리 국제전시장에서 개최한다고 발표했다.
이번 전시회에는 세계 25개국에서 약 1500개사가 참여, 구리배선·저유전율 층간막이나 회로 미세화에 대응하는 차세대 반도체용 제조장치 등 첨단 기술 및 제품을 대거 선보일 예정이다. 특히 미국 인텔 등이 준비하고 있는 300㎜ 실리콘웨이퍼용 제조장치 등이 주목을 끌 것으로 예상된다.
신기성기자 ksshin@etnews.co.kr