파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.com)은 올해 IMID에 초소형 미세공정 시스템(MEMS) 기술을 적용한 차세대 반도체 검사장치 ‘멤스카드’와 LCD 검사장치 ‘멤스유닛’을 소개한다.
또 TFT LCD의 셀 공정 마지막 부문을 검사하는 소모성 핵심 검사장치 ‘프로브유닛’과 이를 탑재해 구동시키는 장비인 ‘프로브스테이션’을 출품한다.
멤스 기술이란 반도체 공정기술과 미세가공 기술을 조합해 초미세 구조물이나 부품 등을 기계·전기적으로 작동할 수 있도록 육안으로는 볼 수 없는 수 미크론 규격으로 제작하고 시스템화하는 기술이다.
파이컴은 이러한 멤스기술을 적용해 반도체 검사장치인 ‘프로브카드’를 ‘멤스카드’로, 디스플레이 검사장치인 ‘프로브유닛’을 ‘멤스유닛’으로 업그레이드했다.
멤스카드는 반도체 전공정 과정 마지막에 완성된 웨이퍼를 검사하는 장치로 기존 프로브카드 대비 검사량이 5배 이상 향상됐으며 정밀도는 100% 이상 높아졌다. 점차 고집적화되는 반도체칩을 효율적으로 테스트해 반도체 칩메이커 업체들의 수율 향상 및 원가절감에 크게 기여하고 있는 제품이다.
지난해 8월 한 번에 200개의 칩을 검사할 수 있는 ‘8인치 웨이퍼 원터치 멤스카드’를 개발한 파이컴은 향후 12인치 웨이퍼 한 장을 한 번의 접촉으로 일괄 검사할 수 있는 ‘12인치 원터치 멤스카드’ 출하를 목표로 하고 있다.
멤스유닛 역시 신개념의 MEMS기술을 이용한 세계 최초의 차세대 LCD패널 검사장치다. 완성된 LCD 패널에 영상신호와 전원을 보내 패널의 불량여부를 판단하는 검사장치로 기존 제품에 비해 미세한 범위(25㎛피치)까지 검사가 가능하며 내구성 및 안정성이 뛰어나다.
또 파이컴은 LCD 패널의 소스 및 게이트 전극에 프로브 탐침을 접촉시켜 LCD의 색상 표출여부와 해상도 및 휘도 등을 검사하는 장치인 프로브유닛과 이동 로봇 형태의 전자동 비주얼 테스트 장비인 프로브스테이션을 출품한다.
국내 민간 기업으로서는 유일하게 멤스팹을 구축, 양산 가동하고 있는 파이컴은 향후 멤스 기술을 반도체·LCD뿐만 아니라 의료기기 및 바이오, 통신 등 다른 산업분야에 기반기술로 응용해 세계적인 멤스 전문기업으로 성장하기 위해 노력하고 있다.