반도체의 연마 공정에 쓰이는 CMP패드를 둘러싼 SKC와 미국 롬앤드하스의 특허 공방이 가열되고 있다.
21일 SKC(대표 박장석)에 따르면 서울고등법원은 SKC의 CMP패드 제품에 대해 롬앤드하스가 제기한 특허권침해 금지 가처분신청을 기각했다.
롬앤드하스는 지난해 1월 SKC를 상대로 수원지방법원에 특허권침해금지 가처분신청을 제기했으나 지난해 9월 기각 결정이 내려졌다. 이번 판결은 롬앤드하스가 서울고등법원에 항고한데 따른 판결로, 재판부는 “SKC의 CMP패드는 롬앤드하스의 특허를 침해하지 않았다”며 기각 결정을 유지했다. 그러나 롬앤드하스는 특허심판원이 자사 특허가 유효하며 SKC의 CMP패드가 롬앤드하스 제품과 동일한 특허의 권리 범위에 속한다는 판결을 내린 바 있다고 21일 밝혔다. SKC는 이에 항소, 현재 특허법원에 계류 중이다.
롬앤드하스가 서울고등법원의 판결에 불복, 대법원에 항소할 뜻을 밝힌데다 특허법원에서의 심리도 이제 시작단계인만큼 두 회사의 특허 공방은 당분간 지속될 전망이다.
SKC측은 “서울고등법원의 결정으로 제품과 기술에 대한 창조성과 진보성을 인정받았다”며 “이번 결정으로 CMP패드의 본격적인 매출 성장이 이루어질 것”이라고 기대했다. 롬앤드하스측도 특허 심판원의 심결이 특허법원에서도 유지될 것으로 기대하고 있다.
CMP패드는 반도체 웨이퍼의 평탄화 공정에 사용되는 화학적기계연마를 위한 소모성 재료로 그동안 롬앤드하스가 높은 특허 장벽을 바탕으로 세계시장의 95% 이상을 독점하고 있던 제품이다. 세계 시장 규모는 3000억원으로 추산된다.
한세희기자@전자신문, hahn@