로체, 웨이퍼 이송 특허취득

로체시스템즈는 변위센서를 이용한 웨이퍼 맵핑방법에 관한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

해당 기술은 다수의 웨이퍼를 티칭라인을 중심으로 용이하게 배열할 수 있어 종래보다 배열시간 및 작업비용을 줄일 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr