주성엔지니어링, 혼합형 플라즈마 발생장치 특허

주성엔지니어링은 혼합형 플라즈마 발생장치 특허를 취득했다고 23일 공시했다.

해당 장치는 ICP타입과 CCP타입의 혼합타입 플라즈마를 생성, 기존 ICP타입과 CCP타입 플라즈마의 한계를 극복할 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr