파크시스템스(대표 박상일)는 연구용 주사 탐침 현미경으로 나노어워드 지경부 장관상을 수상했다.
파크시스템스는 그동안 축적한 기술로 초정밀 원자현미경을 선보였다. 회사가 독자 기술로 개발한 초정밀 원자현미경은 △산업에서 가장 앞선 Z서보 스피드 △XYZ 스캐너의 선형성 △클로우즈드 루프 디텍터(Closed loop detector)의 노이즈 감소 △최소화된 써멀 드리프트(thermal drift) 등이 특징이다. 또한 사용성을 획기적으로 개선해 전문가는 물론이고 다양한 이용자들이 한층 편리하고 쉽게 사용할 수 있다. 회사는 향후 원자현미경과 관련된 분석·계측 장비 분야로도 진출할 계획이다.
원자현미경을 기반으로 하는 나노계측기술은 나노미터 수준의 물성·구조 및 성분을 계측하고 분석해내는 기술로 나노 기술의 발전을 주도하는 가장 중요한 분야다. 원자현미경은 신물질, 바이오, 의학진단, 신에너지, 친환경 기술 등 미래 산업 발전의 원동력 및 근간이 되는 나노계측장비다. 수천만 배의 배율로 물질의 원자 단위까지 볼 수 있는 차세대 초정밀 측정 장비로서 물체의 형상을 10억 분의 1수준까지 파악해 낼 수 있다.
윤희석기자 pioneer@etnews.com
