머크-마이크론, 지속가능한 반도체 가스 개발 협력

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머크와 마이크론 테크놀로지가 지구온난화지수가 낮은 반도체 가스 개발에 협력한다고 4일 밝혔다. 마이크론은 지구온난화지수가 높은 기존 소재를 대체하는 에칭 가스의 성능 검증을 진행하고 있다. 머크 연구개발팀이 해당 에칭 가스를 개발했다.

머크 연구개발팀이 미래 반도체 생산에 지속 가능한 가스 솔루션을 위해 마이크론과 대안 에칭가스 성능 검증을 진행하고 있다.
<머크 연구개발팀이 미래 반도체 생산에 지속 가능한 가스 솔루션을 위해 마이크론과 대안 에칭가스 성능 검증을 진행하고 있다.>

머크와 마이크론은 미래 반도체 생산에 지속가능한 가스 솔루션을 영구 도입하는 것이 목표라고 설명했다. 양사는 건식 식각과 챔버 세정에서 사용되면서 지구온난화지수가 높은 에칭 가스를 대체할 소재 연구에도 협력하고 있다.

카이 베크만 머크 최고경영자(CEO)는 “지속가능성에는 협력이 필요하며 가치를 더 많이 성취하기 위해선 공동의 길을 모색해야 한다”며 “마이크론의 지속가능성 목표 설정에 머크가 기여하게 됐다”고 말했다.

존 휘트먼 마이크론 부사장은 “마이크론은 2030년까지 글로벌 운영에 따른 온실가스 배출량을 2020년 대비 42% 감소시키는 목표를 설정했다”며 “머크라는 혁신 파트너와 함께 넷제로(net-zero) 목표 달성에 다각적으로 협력할 것”이라고 말했다.

머크 연구개발팀이 미래 반도체 생산에 지속 가능한 가스 솔루션을 위해 마이크론과 대안 에칭가스 성능 검증을 진행하고 있다.
<머크 연구개발팀이 미래 반도체 생산에 지속 가능한 가스 솔루션을 위해 마이크론과 대안 에칭가스 성능 검증을 진행하고 있다.>

한편 머크는 온실가스 배출량을 2030년까지 직접 배출량(스코프 1)와 간접 배출량(스코프 2)를 합쳐 50% 감축한다는 목표를 세웠다. 머크는 전자산업용 특수 화학제품 생산과정에서 온실가스가 대부분 배출되는 만큼 공정 개선에 힘쓰고 있다.

송윤섭기자 sys@etnews.com