켐트로닉스는 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 용제인 초고순도 PGMEA를 개발했다. 이 용제는 일본이 수출 규제한 품목 중 하나인 포토레지스트(PR) 제조에 필수 원료다.
PGMEA는 반도체 노광 공정에 활용되는 PR 원료 70~80%를 차지하는 핵심 원료다. 지금까지 우리나라는 일본과 중국 등에서 수입해 왔다.
켐트로닉스 PGMEA는 99.999%(5N) 초고순도를 구현했다. 현재 PR에 적용되는 PGMEA는 대부분 99.994~99.996% 수준이다. 초고순도 용제는 EUV PR 개발에 꼭 필요하다.
켐트로닉스 관계자는 “PGMEA는 극한에 가까운 EUV PR 결함을 제어하는 데 유리하다”면서 “PGMEA 국산화로 고객사 EUV PR 개발에 탄력이 붙을 것으로 기대한다”라고 밝혔다.
PGMEA는 인체 유해 물질인 베타 이성질체를 최소화했다. 친환경 요소를 높였다. 지금까지 주로 유통돼온 PGMEA는 베타 이성질체 함량이 100~300ppm 정도다. 켐트로닉스는 PGMEA 생체 독성을 줄이기 위해 베타이성질체 농도를 1ppm 밑으로 낮췄다. 유해 물질 함량을 최소화하며 환경·사회·지배구조(ESG) 경영에 앞장서고 있다.
켐트로닉스는 반도체 공정용 PGMEA를 신성장 동력으로 키우고 있다. 이를 위해 대규모 투자에도 나섰다.
켐트로닉스는 지난 6월 신규시설에 156억원을 투자하기로 결정했다고 공시했다. 자기자본대비 13.2%에 해당하는 규모다. 회사측은 “반도체급 제품 합성, 정제 설비 투자를 위한 것”이라고 밝혔다.
회사는 초고순도, 친환경 PGMEA를 개발해 축적한 노하우를 기반으로 다양한 제품 포트폴리오를 확보할 방침이다. 반도체뿐 아니라 디스플레이 공정에 쓰이는 원료 국산화 등에도 도전한다.
켐트로닉스는 전자, 화학 소재·부품을 전문으로 개발하는 기업이다. 2007년 1월 코스닥시장에 상장했다. 사업 분야는 전자 사업(전자부품 부문, 무선충전 부문, 자율주행 부문)과 화학 사업(디스플레이 부문, 케미컬 부문)으로 크게 구성됐다.
켐트로닉스는 각 사업 부문별 독자적인 제품설계와 생산·품질관리 기술을 내재화해 핵심 경쟁력을 갖췄다. 전방 산업의 글로벌 선도 업체를 주요 고객사로 확보하고 있다.
켐트로닉스는 “ESG 경영이 본격화한 분위기 속에서 초고순도 재료 개발과 유해 물질 제어 기술 개발은 산업 전반에 친환경 재료에 대한 인식을 전환하게 할 기폭제가 될 것”이라고 밝혔다.
박소라기자 srpark@etnews.com
