전자산업의 미세화.초정밀화의 급진전에 따라 반도체.LCD를 중심으로 화학적 기상도포(CVD) 프로세스의 응용이 크게 늘고 있는 가운데 포항공대가 국내에 서는 유일하게 관련학부에 CVD과목을 개설,3년째 강좌를 열고 있어 하이테크 기반기술의 산실로 자리잡아가고 있다.
포항공대화학공학과는 지난 92년부터 "고체화학공학1,2"를 대학정규 과목으로 채택,국내 대학은 물론 세계적으로도 박사과정을 제외한 일반 학부과정에 서 강의된 예가 거의 없는 CVD(Chemical Vapor Deposition)에 대한 기초이론 을 집중 소개하고 있다.
4학년을대상으로 개설되는 "고체화학공학1,2"의 교과내용은 CVD공정의 기본이론및 산업현황에서부터 기상화학반응, 결정의 성장, 열역학적 고찰, 반응 원료및 화학반응, 생성재료의 특성평가, CVD반응시스팀설계 등에 이르기까지화학.재료.공정을 포괄적으로 다루고 있다.물론 CVD강좌에 대한 학생들및 산업계의 관심이 높으며 실제로 동대 화학공학과 출신의 상당수가 반도체 업체 의 프로세스 엔지니어나 TFT LCD공정개발팀에서 근무하고 있다.
CVD는화학반응을 이용해 기상의 원료로부터 고체재료를 합성함과 동시에 원하는 형태로 가공하는 화학공정으로 반도체소자.태양전지.TFT LCD,복사기 감광드럼등의 핵심제조 기술로 널리 사용되고 있다.
그러나CVD기술은 화학공정이지만 고체재료를 다루어야 하고 그 응용 분야의대부분이 전자산업이라는 복합적인 특성으로 인해 대부분의 대학이 산업계의 절실한 요구에도 불구하고 그동안 한정된 기초연구및 강의에 그쳐왔다.
이같은시점에서 국내 대학내에서 고체재료의 3대분야인 화학. 재료. 공정에 대한 체계적인 강의가 정규과목으로 채택,서서히 자리를 잡아가고 있는 것은대단히 고무적인 일로 평가되고 있다.
포항공대는이 강좌가 3년째 접어듦에 따라 올해부터 고체 재료의 단순한 소개가 아니라 프로세스.장치분야등 응용분야를 포괄적으로 담아 실제 산업 계에 필요한 기초지식을 집중 강의할 방침이다.
CVD강의를3년째 맡고있는 포항공대 화학공학과 이시우교수는 "2백56MD램 등고집적 반도체로 갈수록 화학.공정개발이 성패의 관건이 되고 있어 고체재료 및 화학공정 기술확보가 시급하다"고 지적하고 "박막제조공정에 대한 산업계 의 높은 요구에 부응키위해 학부과정외에 대학원과정에 집적회로공정 플래즈마화학공학 등 화학공정의 기초분야에 대한 과목을 집중 배정해 놓고 있다 고 밝혔다.<김광일 기자>