실리콘 단결정과 엑스선을 이용해 나노미터(10억분의 1미터)까지 측정이 가능한 길이.각도 측정기기가 순수 국내기술로 개발됐다.
25일한국표준과학연구원(원장 정명세) 길이그룹의 엄천일 박사팀은 지난 2년반 동안 1억5천만원의 연구비를 들여 나노미터(길이)와 나노라디안(각도) 을 측정할 수 있는 엑스선 간섭계를 개발하는 데 성공했다고 발표했다.
이번에 개발된 엑스선 간섭계는 실리콘 단결정으로부터 일어나는 회절현상을 이용해 엑스선 간섭신호를 검출함으로써 일반 가시광선 간섭계로서는 측정할 수 없는 나노미터영역의 측정을 가능하게 한 것이다.
엑스선간섭계의 개발로 우리나라도 원자의 크기까지 측정할 수 있는 초정밀 측정기술을 보유하게 됐으며 이는 반도체의 고집적화에 필수적인 미세회로측 정등 다양한 분야에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
연구팀은 엑스선 간섭계가 레이저 간섭계의 선형성 교정、 나노미터 이하단 위의 센서나 변환기들의 교정 및 특성파악 등에 활용될 것이라고 밝혔다.
<대전=최상국기자>