세계적인 반도체용 가스스크러버 생산업체인 미국 델라텍사가 한국시장을 본격 공략하기 위해 한국내 생산을 추진한다.
델라텍이 지난해 설립한 한국 현지법인 델라텍코리아(대표 유승은)는 이 장비를 국내에서 생산하기 위해 지난 8월 성남시 분당구에 있는 아파트형 공장에 생산라인을 설치한데 이어 스크러버 생산에 필요한 캐비넷 등의 각종 하드웨어와 프레온가스 처리 등의 관련 핵심기술을 미국 본사로부터 현재 이전받고 있어 늦어도 내달부터는 국내생산을 시작할 방침이라고 8일 밝혔다.
이 회사는 또한 최근 국내 기술진들에 의해 시험제작된 장비를 미국 본사에 보내 현재 성능 및 안정성을 최종 시험중이며 관련 부품을 조달할 국내 협력업체도 이미 모집 완료했다고 덧붙였다.
이 회사가 생산할 가스스크러버는 프레온가스는 물론 가연성 또는 부식성을 지닌 각종 불순 가스를 함께 정제할 수 있도록 번인(Burn-in) 과 웨트(Wet) 타입 등 2가지 가스처리 방식을 동시 수행하는 최신 제품이다. 이 회사는 또한 LCD 제조라인용 스크러버와 일반 산업용 웨트 타입 장비와 3백mm 대응 차세대 스크러버 장비도 잇따라 출시키로 했다.
유승은 델라텍코리아 사장은 『현재는 1백% 외국 투자법인 형태이나 본격적인 국내생산 추진과 함께 향후 국내 지분 비율을 연간 15%씩 늘려 나가기로 본사 측과 합의한 상태여서 오는 99년 경에는 스크러버 장비의 국내 독자모델 개발 및 생산은 물론 이의 해외 수출도 가능할 전망』이라고 밝혔다.
가스스크러버는 반도체 생산 과정에서 발생하는 각종 유독 가스의 정화처리 장비로 지구 환경파괴 문제에 대한 국내외 반도체업체들의 관심이 높아지면서 최근 수요가 급증하고 있다.
<주상돈 기자>