일드업 "웨이퍼 세정 장비"
미국의 신생 반도체 장비업체인 일드업社는 자사 특허인 정전기 방식 세정기술을 이용한 반도체 세정 장비인 「오메가 2000」과 「오메가 4000」을 출품했다.
이들 제품은 2백㎜ 및 3백㎜ 웨이퍼와 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등 대형기판 가공용으로 설계돼 있으며 0.25미크론 이하 단위의 먼지까지 제거할 수 있는 고성능 장비들이다.
또한 오메가 시리즈는 웨이퍼 세척시 가동 부품이나 기계적인 동작을 전혀 사용하지 않음으로써 웨이퍼 및 기판의 손상을 최소화했다.
이 중 「오메가 2000」은 자기정화기능이 부착된 2백 및 3백㎜ 웨이퍼용 가공실을 별도로 갖고 있으며 여러 형태의 반자동 또는 전자동 혼합식 작업대와 인라인화시킬 수 있도록 설계된 것이 특징이다.
또한 「오메가4000」은 실시간 윈도 환경에서 작동되는 독립형 세정 및 건조장비로 화학적 기계적 연마(CMP) 관련 각종 세정 공정에도 적용가능하다.
일드업사는 최근 미국 반도체 장비 업체들 가운데 가장 빠른 성장세를 보이고 있는 기업 중 하나이며 올해 초 국내 장비 공급업체인 서진교역을 대리점으로 선정하는 등 본격적인 한국 시장 진출도 추진중이다.