차세대 반도체 장비 개발을 위해 국내 10여개 장비업체가 손을 잡는다.
20일 관련업계에 따르면 아토 등 국내 10여개 반도체 장비업체들은 차세대 반도체 장비를 공동으로 연구개발하는 컨소시엄을 구성, 이르면 이달중 출범키로 하고 사업방향 설정 등의 세부 작업에 착수했다.
컨소시엄은 플라즈마화학증착(PECVD)과 노광(리소그래피) 공정용 장비 등 다가올 300㎜ 웨이퍼용 차세대 핵심 장비를 개발해 2003년께 본격 생산할 계획이다.
두세개 업체가 장비 공동개발 또는 시장개척 협력을 목적으로 제휴를 맺은 적은 있으나 10여개 중소형 업체가 공동 사업과 차세대 장비 개발을 목적으로 컨소시엄을 구성한 것은 이번이 처음이다.
특히 어플라이드머티리얼스, 도쿄일렉트론 등 15개 전세계 주요 장비개발업체가 참여해 오는 8월 출범할 메이저장비업체(MES) 컨소시엄에 국내 업체들이 배제된 가운데 서로 힘을 합치는 프로젝트라는 점에서 의미가 있다.
아토를 구심점으로 구성이 추진되는 이 컨소시엄은 참여업체를 공개하지 않았으나 장비개발, 장비개조, 부품개발, 유지보수 등 다양한 분야에서 기술력을 갖춘 업체들을 망라한 것으로 알려졌다.
아토는 컨소시엄 구성을 위해 지난 4월부터 업체들을 개별 접촉해 왔으며 지금까지 11개 업체의 참여를 약속받았다. 참여업체들은 이달초 첫 모임을 가졌으며 우선 필요한 자금확보를 위해 기존 장비를 개조하는 사업을 공동으로 진행하고 이후 차세대 장비 개발에 착수할 계획이다.
문상영 아토 사장은 “국내 장비개조 시장은 연간 300억원 규모로 비교적 큰데다 경쟁이 치열하지 않아 충분한 수익사업이 될 전망”이라며 “이를 통해 확보한 자금과 요소기술 참여업체의 노하우를 접목시킬 경우 외산 못지 않은 차세대 핵심 장비를 개발할 수 있을 것”이라고 말했다.
컨소시엄은 초기 사업을 체계화하기 위한 전담팀을 이달중 아토 내부에 신설하고 하반기부터 본격적인 사업에 들어갈 계획이다. 컨소시엄은 참여업체의 분야가 중복되지 않은 한도에서 3∼4개 업체를 추가로 확보할 계획이다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>