에프에스티, 반도체 냉각장치 특허취득

에프에스티는 반도체 장비용 냉각장치 관련 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

해당기술은 고온 냉각제가 수용되는 고온탱크와 저온 냉각제가 수용되는 저온탱크를 구비함으로써 열교환기에서 냉각수를 끓는점 이하로 유지시킬 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr