로체시스템즈, 멀티핑거로봇 특허

로체시스템즈는 멀티핑거로봇에 대한 특허를 취득했다고 23일 공시했다.

해당 기술은 웨이퍼 이송시 멀티 이송 프레임에 불피요하게 걸리는 이송 부하를 감소하며 핑거의 이송속도를 향상시킬 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr