전형탁 한양대학교 신소재공학부 교수는 29일 백남학술정보관에서 ‘`제 7회 한국 ALD(원자층증착기술:atomic Layer Deposition) 워크숍 2011’을 개최한다고 밝혔다.
원자층 단위 두께로 박막을 증착할 수 잇는 ALD는 반도체공정에서 연료전지, 디스플레이, 태양전지 등으로 쓰임이 확대되면서 기술적인 관심이 높아지고 있다.
전현탁교수는 미국 진공학회로부터 탄생한 ALD학회의 멤버로 지난 2005년부터 매년 ALD워크숍을 국내에 개최해 저변확대와 연구 교류에 기여해왔다.
이번 워크숍에서는 미국 아르곤국가연구소의 제프엘럼박사가 초청강연을 하며 삼성전자, ETRI, NCD, 서울대, 단국대, 고려대 등에서도 최신 ALD동향에 대해 강연할 예정이다.
유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr