모션·컨트롤 장비 전문업체 파카코리아(대표 유시탁)는 능동형(AM) 유기발광다이오드(OLED) 증착 공정에서 사용되는 진공리니어모터시스템 `파커 인버티드 다이나믹스(PID)` 시스템을 개발했다고 1일 밝혔다.
이 시스템은 증착 공정에서 AM OLED 기판을 옮길 때 쓰인다. 기존 장비와 반대로 기본 양극판(베이스 플레이트) 바닥에 코일을 고정시키고 마그넷 트랙을 움직이게 한다. 지금까지는 양극판에 마그넷 트랙을 고정한 뒤 코일을 움직였다. 코일에 케이블과 홀 센서를 붙여 케이블이 어떻게 이동하는지 위치를 확인하고 제어하는 방식이었다. 이번 신공정 기술을 쓰면 케이블이 고정돼 있어 위치 제어가 필요 없다. 물리적 마찰도 줄어들고 분진도 발생하지 않는다. 케이블이 이동하지 않기 때문에 케이블 길이도 얼마든지 늘릴 수 있다.
회사 관계자는 “OLED는 증착 후에 대기로 나오면 불량률이 높아져서 증착 전 공정에서 진공처리를 해야 한다”며 “진공 환경에 최적화된 설계”라고 설명했다.
파카코리아는 이달 30일부터 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 `세미콘코리아 2013`에 신제품을 처음 선보일 예정이다.
파카코리아는 미국 파카하니핀의 한국 영업을 총괄하는 회사다. 파카한일유압, 파카하니핀커넥터 등 각종 기계 장치에 들어가는 부품·소재 생산 자회사를 두고 있다. 그룹 내 한국 총 매출은 지난해 10월 기준 3억5000만달러다.
오은지기자 onz@etnews.com