코셈(대표 이준희)은 국내 최고 나노기술 연구지원기관 나노종합기술원과 공동으로 나노기술 관련 장비와 솔루션 개발 검증 등 협력 사업을 추진한다고 11일 밝혔다.
오는 14일 나노종합기술원과 업무협약을 맺고 자체 개발한 나노기술 관련 장비 및 솔루션 검증 절차를 밟는다.
주 제품은 코셈이 지난해 개발한 10㎚급 CVD 공정 파티클 모니터링 장비다. 반도체 CVD 공정 과정에서 10㎚급 파티클 크기, 성분, 형상을 정확하게 측정할 수 있는 실시간 나노입자 복합 특성 측정 시스템이다.
기존 체임버에 실험용 웨이퍼를 넣어 육안으로 확인하는 간접방식과 레이저를 이용한 직접 방식에 비해 파티클을 실시간 정확하게 측정할 수 있다.
CVD 공정 중 발생하는 입자를 하전시켜 전기장 내 운동을 정확히 측정한다. 레이저 방식보다 정밀한 10㎚급까지 파티클을 측정할 수 있고, 성분과 형상까지도 실시간 측정할 수 있다.
파티클 모니터링은 물론 분석도 동시에 이뤄져 반도체 공정 생산성과 작업성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 기술로 평가받고 있다.
반도체 CVD공정, 디스플레이 공정 등에 다양하게 활용할 수 있다.
현재 국내 대기업이 코셈 기술을 도입하기 위해 필드 테스트를 진행 중이다.
코셈은 나노종합기술원과의 협약으로 자체 개발한 신기술과 장비를 정확하게 검증받을 수 있는 계기가 될 것으로 예측했다.
나노종합기술원은 업무 협약을 계기로 코셈과 나노기술 역량 강화를 위한 정보 교류는 물론 나노기술 산업화 지원을 강화할 계획이다.
한편 코셈은 한국을 전자현미경 생산 국가 반열에 올려놓은 강소기업이다. 2007년 주사전자현미경(SEM)원천기술 상용화에 성공, 한국을 세계 다섯 번째 전자현미경 생산국가 명단에 올려놨다.
현재 과학인재 양성을 위해 전자현미경 지식확산사업 ‘노벨 프로젝트’를 시행하고 있다.
이준희 코셈 사장은 “중소기업이 첨단 기술로 개발한 분석 장비를 국내 공신력 있는 연구기관에서 검증하게 돼 제품 유효성과 객관성을 확보하는 계기가 마련됐다”고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com