반도체 재료 전문업체인 버슘머트리얼즈코리아는 29일 경기도 안산시 단원구 반월공단에 첨단증착재료(ADM:Advanced Deposition Materials) 기술 연구소를 개소했다고 밝혔다.
버슘은 이 연구소에서 국내 고객사 요구에 맞춘 첨단 증착 재료를 연구개발한다. 연구소는 재료 분석은 물론, 샘플 재료를 소량 생산할 수 있다. 실제 웨이퍼 위로 샘플 재료를 증착할 수 있는 시설도 갖췄다. 버슘은 이 시설을 갖추기 위해 약 100억원의 자금을 투입했다. 아시아 전 지역의 증착재료 연구개발을 반월공장 ADM 연구소가 맡게 될 것이라고 이 회사 관계자는 전했다.
버슘은 지난해 10월 특수 가스 전문업체 에어프로덕트에서 분리 독립된 회사다. 각종 증착 재료와 클리닝 재료, 화학기계연마(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 슬러리 등 노광을 제외한 대부분 반도체 특수공정용 재료를 공급하고 있다. 지난해 본사 매출은 9억7000만달러(약 1조1000억원)였다. 전 세계에 200여명의 연구개발(R&D) 인력을 보유하고 있으며 이 가운데 60명 이상이 박사 인력이다.
유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표는 “고객사가 기술 한계를 뛰어넘을 수 있도록 맞춤형 첨단 재료를 제공하겠다”고 밝혔다.
버슘머트리얼즈코리아는 내년 완공을 목표로 경기도 평택에도 CMP 기술 연구소를 지을 계획이다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com