산업용 분석장비 전문기업 아스타가 반도체 산업 진출에 본격적으로 나섰다.
아스타는 OLED 및 이차전지 검사장비 개발 경험을 기반으로, 반도체 공정용 실시간 가스 분석장비 'GM-TOF'의 양산 성능평가를 시작했다고 21일 밝혔다.
이 장비는 산업통상자원부가 주관한 '반도체 공정 실시간 진단 및 모니터링용 가스 질량분석시스템 양산성능평가 사업'에 선정되면서 개발된 것으로, 세계적인 반도체 기업의 양산 공정 현장에서 성능 평가를 진행한다.
이 사업은 반도체 제조에 사용되는 기체를 실시간 고정밀로 분석해 품질을 관리하고, 생산 수율을 높이는 시스템의 상용화 가능성을 검증하는 데 목적이 있다. 아스타는 먼저 국내 공인인증기관을 통해 성능 검사를 마친 후, 실제 반도체 현장에서 적용성을 확인할 예정이다.
아스타의 GM-TOF 장비는 비행시간형(TOF) 질량분석 기술을 기반으로 기존 사중극자 방식의 잔류가스 분석기(RGA)보다 감도가 높고 검출 속도가 빠르다. 또 부품 모듈화 및 표준화를 통해 고장 시 빠른 유지보수가 가능하며, 장비 가동률을 높일 수 있는 것이 특징이다.
이 장비는 공정 중 또는 클리닝 과정에서 발생하는 다양한 기체의 조성 변화와 진공 상태를 실시간으로 분석함으로써 반도체 품질 및 생산 효율 향상에 기여할 수 있다.
TOF 기술이 적용된 아스타의 실시간 가스 모니터링 시스템(RT-GMS)은 공정 중 또는 공정 후 클리닝 과정에서 발생하는 기체 조성과 진공도 변화를 정밀하게 분석한다. 이를 통해 반도체 품질과 생산 수율 향상에 실질적인 기여가 가능하다는 평가를 받고 있다.
현재 국내 반도체 산업에서는 잔류가스 분석장비를 주로 해외에서 수입하고 있으며, 가격은 4억~6억 원대로 고가다. 기술지원의 한계도 있어, 국산 대체 장비에 대한 수요가 꾸준히 제기돼 왔다.
아스타는 클라우드 기반 비행시간형 질량분석기(TOF-MS) 기술을 활용해 경쟁력 있는 가격과 기술력으로 수입 장비를 대체하고, 해외 시장 진출도 본격화할 계획이다. 특히 이 장비는 반도체 외에도 화학사고 대응, 폭발물 탐지, 유해가스 모니터링 등 다양한 산업 현장에 적용 가능하다는 평가를 받고 있다.
아스타 관계자는 “2025년~2026년 내 실제 생산현장 적용을 목표로 TOF-MS 기반의 실시간 잔류가스 모니터링 시스템을 구축 중”이라며 “산업용 고정밀 분석장비 분야로 사업을 확대해 글로벌 종합 분석기기 전문기업으로 도약하겠다”고 말했다.
수원=김동성 기자 estar@etnews.com
