한국광기술원(원장 신용진)은 경기 안성 반도체장비 소재·부품 실장평가 테스트베드 구축사업이 2년 차에 접어들며 실장평가 및 계측분석을 위한 첨단 테스트베드 구축 등에서 본격적인 성과를 내고 있다고 29일 밝혔다.
광기술원은 지난 27일 담양 호텔 드몽드에서 공동 연구개발기관인 한국폴리텍대학 반도체융합캠퍼스(학장 이해춘), 한국화학융합시험연구원(원장 김현철)과 '상반기 워크숍'을 개최하고 2차년도 사업 성과와 추진 전략을 공유했다. 안성시의 반도체 장비 산업 육성 전략, 특화단지 간 연계와 산업 경쟁력 강화 방안을 함께 모색하는 시간을 가졌다.
이번 워크숍에서 한국폴리텍대학 반도체융합캠퍼스 왕현철 연구책임자는 '실장평가·계측분석지원·인증지원센터' 구축 계획을 발표했다. 발표 내용은 △계측, 시험평가 등 전용공간 마련 △12인치 반도체 웨이퍼 공정 대응 화학적 기계적 연마(CMP) 장비 △웨이퍼 표면 결함 검사 장비 △박막 증착 시스템 등 총 20종 24대의 장비를 도입하는 계획이다. 전용공간은 건축 설계 및 인·허가 중으로 하반기 착공, 내년 상반기 준공을 목표로 추진 중에 있다.
김상묵 한국광기술원 본부장은 계측분석센터를 담당해 국산화 장비의 연마, 세정, 코팅 기술에 대한 단위공정 평가 및 계측 분야를 지원하고 있다. 12인치 웨이퍼 공정에 대한 계측 서비스를 제공하는 공공 인프라는 국내에서 안성 소부장특화단지가 유일하다. 구축 장비는 앵커기업인 케이씨텍, 코미코 등 반도체장비 기업과의 연계를 통해 성능 평가를 지원하는 데 활용한다.
이날 행사에는 3개 연구기관을 비롯해 안성시, 광주미래차모빌리티진흥원, 전남대학교, 부산테크노파크 등 주요 소부장 특화단지 및 반도체 공동연구소 관계자들이 참석해 사업 성과를 공유하고 협력 방안을 논의했다.
주요 소부장 특화단지는 광주미래차모빌리티진흥원 '광주 미래차 소부장 특화단지', 부산테크노파크 '전력반도체 특화단지'로 연구사업 성과와 현황을 공유하고 실무진 간담회를 통해 향후 과제 방향과 연계 전략을 논의했다. 사업의 구체적인 실행 방안을 심도 있게 모색하는 시간을 가졌다.
안성시 관계자는 “이 사업은 경기남부권 반도체기업의 기술력과 신뢰성 향상에 큰 역할을 할 것”이라며 “반도체 기업 수요조사를 통해 지속적으로 기술개발과 인력양성 등 종합적인 반도체 산업을 육성하겠다”고 말했다.
광주=김한식 기자 hskim@etnews.com
