에스앤에스텍은 경기 용인에 극자외선(EUV) 전용센터를 완공하고, 블랭크 마스크와 펠리클 양산 준비를 마쳤다고 15일 밝혔다.
회사는 이날 용인 반도체 클러스터에서 EUV 전용센터 준공식을 개최했다. 연면적 1만809제곱미터(㎡) 규모로, 건설에 약 1000억원이 투입됐다. 2021년 7월 착공 이후 4년 3개월 만에 완공됐다.
에스앤에스텍은 EUV 블랭크 마스크와 펠리클을 양산할 예정이다. 블랭크 마스크와 펠리클은 각각 반도체 회로가 새겨지기 전 원판과 마스크에 먼지가 붙는 걸 방지하는 얇은 보호막으로, EUV 노광 공정의 핵심 부품이다.
모두 전량 해외 수입에 의존하고 있는데, 회사는 EUV 전용 생산 인프라 구축으로 국산화가 가능해졌다고 설명했다. 고객사 공급 시작 이후 추가 증설을 통해 생산 역량을 확대한다는 계획이다.
정수홍 에스앤에스텍 대표는 “용인 EUV 센터에서 국가 반도체 경쟁력을 확보하고, 지역 사회에도 기여하겠다”고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
