저스템은 국내 반도체 제조사에 2세대 습도제어 장비인 'JFS'를 공급한다고 3일 밝혔다.
회사는 영업 비밀을 이유로 고객사명과 구체적인 계약 규모는 공개하지 않았지만 50여대를 납품한다고 설명했다.
JFS는 웨이퍼 운송 용기인 '풉(FOUP)' 습도를 제어하는 설비다. 반도체 공정에서 풉 습도가 올라가면 불순물이 달라붙어 수율 저하 요인이 된다. 저스템은 JFS가 습도를 1% 수준까지 낮출 수 있다고 설명했다.
회사는 이번 공급으로 해외 반도체 기업에 이어 국내 업체로 JFS 고객사를 확대했다고 전했다. 반도체 업황 개선에 따라 JFS 수요가 지속 증가할 것으로 기대했다. 김용진 저스템 사장은 “고객사 생산성 향상과 글로벌 시장 확대를 위해 노력하겠다”고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
