KAIST·포스텍, 반도체 칩 위에 '나노 레이저' 고밀도 배치 기술 개발

우리 연구진이 머리카락보다 얇은 공간에서 빛으로 정보를 처리하는 '나노 레이저'를 반도체 칩 위에 고밀도 배치할 수 있는 새로운 제작 기술을 제시했다.

한국과학기술원(KAIST·총장 이광형) 는 김지태 기계공학과 교수팀이 노준석 포스텍 교수팀과 초고밀도 광집적회로 핵심 소자인 '수직형 나노 레이저'를 만들 수 있는 초미세 3차원 프린팅 기술을 개발했다고 6일 밝혔다.

기존 반도체 제조 방식인 리소그래피 공정은 같은 구조 대량 생산에는 효과적이지만, 공정이 복잡하고 비용이 많이 들어 소자 형태·위치를 자유롭게 바꾸기 어렵다는 한계가 있었다. 또 대부분 기존 레이저는 기판 위에 눕혀진 수평 구조로 만들어져 공간을 많이 차지하고, 빛이 아래로 새어 나가 효율이 떨어지는 문제가 있었다.

연구팀은 이런 문제를 해결하고자 빛을 효율적으로 만들어내는 차세대 반도체 소재인 '페로브스카이트'를 수직으로 쌓아 올리는 새로운 3D 프린팅 방식을 개발했다.

이를 통해 재료를 깎아내는 복잡한 공정 없이, 원하는 위치에 머리카락보다 훨씬 가는 기둥 모양의 나노 구조물을 수직으로 직접 인쇄했다.

KAIST·포스텍 연구진이 만든 페로브스카이트 나노와이어 3차원 프린팅 공정
KAIST·포스텍 연구진이 만든 페로브스카이트 나노와이어 3차원 프린팅 공정

기술 핵심은 이렇게 인쇄된 페로브스카이트 나노 구조물 표면을 매우 매끄럽게 만들어 레이저 효율을 크게 높였다는 점이다. 연구팀은 프린팅 과정에 기체상 결정화 제어 기술을 결합해, 결정이 거의 하나로 정렬된 고품질 구조를 구현했다. 그 결과 빛 손실이 적고 안정적으로 작동하는 '고효율 수직형 나노 레이저'를 구현할 수 있었다.

또 나노 구조물 높이를 조절해 레이저가 내는 빛 색을 정밀하게 바꿀 수 있음을 입증했다. 이를 활용해 육안으로는 보이지 않지만 특수 장비로만 확인할 수 있는 레이저 보안 패턴을 제작했으며, 위조 방지 기술로서의 상용화 가능성도 확인했다.

김지태 교수는 “이번 기술은 복잡한 공정 없이 빛으로 계산하는 반도체를 칩 위에 직접 고밀도로 구현할 수 있게 한다”며, “초고속 광컴퓨팅과 차세대 보안 기술의 상용화를 앞당길 것”이라고 말했다.

이번 연구는 스치 후 기계공학과 박사가 제 1 저자로, 나노과학 분야 국제 권위 학술지 ACS 나노에 지난달 6일 온라인 게재됐다.

김영준 기자 kyj85@etnews.com