충북도는 30일 청주 오창 외국인투자지역에서 일본계 외국인투자기업 JSR마이크로코리아의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식이 열렸다고 밝혔다.
이날 준공식에는 신용한 충북도지사, 신병대 청주시 부시장, 호리 테츠로 JSR 대표, 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아 대표 등 주요 관계자들이 참석했다.
JSR마이크로코리아는 2003년 오창에 설립된 일본 JSR의 한국법인으로, 디스플레이 소재 사업을 이어왔다. 이번 공장 신설을 통해 차세대 극자외선(EUV)용 포토레지스트인 금속산화물 레지스트(MOR)의 국내 생산체계를 구축했다.
MOR은 EUV 노광공정에서 웨이퍼에 미세 회로 패턴을 형성하는 핵심 소재다. 기존 유기계 포토레지스트 대비 높은 EUV 흡수 특성 등을 갖춰 차세대 초미세 반도체 공정에 활용될 소재로 주목받고 있다.
이번 공장은 JSR이 세계 최초로 구축한 EUV용 MOR 생산거점이다. JSR은 2021년 미국 인프리아(Inpria)를 인수한 이후 MOR 사업화를 추진해 왔으며, 오창 공장에서는 MOR 최종 생산공정을 수행한다.
JSR은 국내 주요 고객사의 수요에 신속하게 대응하고 현지 생산 및 품질보증 역량을 강화할 계획이다. 특히 해외 공급망 의존도를 낮추고 국내 반도체 제조기업의 차세대 공정 소재 확보에도 기여할 것으로 기대된다.
이번 생산거점 구축으로 충북은 기존 반도체 제조·소부장 산업 집적 기반에 차세대 핵심소재 생산 역량까지 확보하면서 글로벌 반도체 공급망 내 입지를 강화하게 됐다.
신용한 지사는 “세계적인반도체 소재기업 JSR의 차세대 EUV용 MOR 생산공장이 오창에 준공된 것은 충북이 글로벌 반도체 소재 공급망의 전략 거점으로 자리매김하는 또 하나의 이정표”라며 “JSR마이크로코리아가 충북을 기반으로 세계적인 반도체 소재기업으로 더욱 성장하기를 기대한다”고 말했다.
충북=이인희 기자 leeih@etnews.com
