SK머티리얼즈, '불산계 에칭가스' 탈일본 시동…설비투자 착수

SK머티리얼즈, '불산계 에칭가스' 탈일본 시동…설비투자 착수

SK머티리얼즈가 일본의 수출 규제 대상에 오른 '에칭가스' 국산화에 시동을 걸었다.

2일 업계에 따르면 SK머티리얼즈는 에칭가스를 생산하기 위한 설비 투자를 개시했다. 동시에 가스 제조에 필요한 인·허가 등 행정절차에 돌입한 것으로 확인됐다.

SK머티리얼즈 관계자는 “최근 (에칭가스 생산을 위한) 설비 발주(RFP)를 냈다”면서 “초기기 때문에 파일럿 규모 설비를 우선 갖추고 올 연말 샘플을 출하할 예정”이라고 밝혔다.

SK머티리얼즈가 준비 중인 가스는 '불산(HF=불화수소)계 에칭가스'다. 반도체 제조 공정에서 불필요한 회로를 깎는 데 쓰인다. 그래서 '에칭가스'나 '식각가스'로 불린다.

업계에 따르면 불산계 에칭가스는 일본 쇼와덴코가 삼성전자와 SK하이닉스에 독점 공급해왔다. 그러나 지난 7월 4일부터 일본 정부가 수출을 규제하면서 수급 우려가 제기됐다. 일본이 통제하겠다며 지정한 품목인 불산, 즉 불화수소가 에칭가스에 사용돼서다.

그러자 특수가스 전문 회사인 SK머티리얼즈가 불산계 에칭가스 사업 진출을 공식화했다. 국산화가 안 된 소재를 사업화하려는 목적, 일본 수출 규제에 따른 대체재 마련을 위해서다.

같은 그룹 내에 SK하이닉스의 반도체 사업 영속성을 위해 핵심 소재를 내재화하려는 SK그룹 의지도 반영된 것으로 해석됐다. <본지 2019년 7월 26일자 1면 참조>

SK머티리얼즈 직원이 제품을 살펴보고 있는 모습(자료: 전자신문DB)
SK머티리얼즈 직원이 제품을 살펴보고 있는 모습(자료: 전자신문DB)

SK머티리얼즈가 설비 발주를 내고 인·허가 절차에 나섰다는 건 에칭가스 국산화가 이제 본격적으로 추진됐다는 신호다. 탈일본 소재의 신호탄을 쏘아올린 것이다. 연말 샘플 검증이 성공적으로 이뤄지면 대량 생산을 위한 추가 투자가 곧바로 이뤄질 전망이다.

회사 관계자는 “양산 투자는 샘플 평가 및 고객사와의 협의 후에 진행될 것”이라고 말했다. 대량 생산은 내년 상반기 중으로 점쳐지고 있다.

SK머티리얼즈는 1982년부터 반도체 소재를 만들어 온 특수가스 전문기업이다. 삼불화질소(NF3)를 국내 최초 국산화했고 육불화텅스텐(WF6)과 같은 증착 가스, 석유화학·철강 등에 적용되는 산업가스 등을 공급하고 있다. 기술력과 노하우가 축적된 만큼 발 빠른 상용화가 기대된다. 기간 단축을 위한 SK하이닉스와의 협력도 예상되고 있다.
SK머티리얼즈는 쇼와덴코와 합작해 모노플루오르메탄(CH3F), 육불화부타디엔(C4F6), 디플루오르메탄(CH2F2) 등 CF계 에칭가스를 만들고 있다. 그러나 불산계에선 쇼와덴코와 경쟁이 불가피할 전망이다.

SK머티리얼즈가 생산 중인 에칭가스들(자료: 홈페이지)
SK머티리얼즈가 생산 중인 에칭가스들(자료: 홈페이지)

윤건일 전자/부품 전문기자 benyun@etnews.com