반도체 검사공정용 장비업체인 평창하이테크산업(대표 이억기 http://www.phicom.co.kr)은 기존 프로브 카드(prob card)에 차세대 탐침(contactor)을 적용한 프로브 카드(모델명 NTPC)를 개발했다고 11일 밝혔다.
이 회사는 올해 말까지 서울 금천구 가산동 기존 공장 옆에 연건평 4000평(클린룸 1000평) 규모의 신공장을 짓고 양산에 나설 계획이다
이번 장치는 이 회사가 현재 개발중인 차세대 「웨이퍼레벨콘택트시스템(WLCS)」에 들어갈 탐침을 적용해 칩에 대한 테스트 속도가 향상되고 테스트공정시 발생하는 각종 문제점을 개선했다.
이 회사는 『이번에 새로 적용한 콘택터를 미국 디시전트랙과 공동개발했다』면서 『디시전트랙과 칩의 성능·특성을 웨이퍼 단계에서 검사하는 차세대 장비 개발도 순조롭게 진행중이어서 내년 초에 출시할 수 있을 것으로 예상된다』고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>