미국 반도체 공정 및 계측장비 전문업체 비코 인스트루먼트(대표 피에로 스퍼라조 http://www.veeco.com)가 한국광기술원(원장 김태일 http://www.kopti.re.kr)에 20억 원을 투입, 발광다이오드(LED) 등 광소자 제작 핵심장비인 유기금속화학기상증착기(MOCVD) 장비 공정개발센터를 설립한다.
미국 뉴욕에 본사를 두고 고휘도 LED와 유·무선통신 부품 개발에 필요한 다양한 공정 및 계측 장비를 공급하는 이 회사 피에로 스퍼라조 사장은 최근 광주광산업집적화단지 소재 한국광기술원을 방문, MOCVD 공정 개발센터를 설립하기로 합의하고 양해각서(MOU)를 교환했다.
비코 인스트루먼트와 한국광기술원은 센터에 구축될 차세대 대형 MOCVD 장비를 활용해 공동으로 LED 및 반도체조명용 고품질 박막성장 기술 개발에 사용할 계획이다. 또 국내 MOCVD 장비를 필요로 하는 기업에 신속한 부품조달과 신기술 지원, 공정서비스를 제공하고 국내 LED 전문인력들의 기술교육용으로도 이용할 예정이다.
비코 측은 그동안 주로 미국 본사에서만 MOCVD 장비 및 공정을 개발해 왔으나 한국과 대만 등 아시아 주요고객의 요구와 기대에 적극 대응하기 위해 광주에 투자를 결정한 것으로 전해졌다.
이번 비코의 투자를 이끌어 낸 유영문 한국광기술원 LED사업단장은 “MOCVD 장비공정개발센터가 설립되면 국내 LED 기업에 신속한 사후 공정 서비스 지원으로 생산성 향상에 큰 도움이 될 것“이라며 “특히 산자부의 지원으로 차세대 반도체 광원 개발을 목표로 추진중인 LED 및 반도체 광원 시험생산사업이 활기를 띨 수 있을 것으로 기대하고 있다”고 말했다.
광주=김한식기자@전자신문, hskim@