파이컴, 폴리머 마스크 특허취득

파이컴은 폴리머 마스크 수리방법에 대한 특허를 취득했다고 28일 공시했다.

해당기술은 레이저를 이용한 미세가공 기술을 이용해 반도체 , PCB 등의 노광용 마스크를 자동을 수리하는 장치 및 방법으로 포토마스크 제조에 따른 결함 발생에 능동적으로 대처할 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr