반도체 소부장 유니셈,차세대 반도체 장비 스크러버 개발 나서 발행일 : 2009-01-12 09:52 전자신문을 선호 매체로 추가 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 유니셈이 한국산업기술평가원으로부터 ATC신규과제지원 대상업체로 지정받았다고 밝혔다. 이를 계기로 유니셈은 앞으로 정부지원금 14억원을 포함해 총 28억원을 투입해 차세대 반도체/FPD공정장비인 Scrubber를 개발할 계획이다.
