동진쎄미켐, EUV PR 개발 박차…인력 보강 및 테스트 속도

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동진쎄미켐, EUV PR 개발 박차…인력 보강 및 테스트 속도

동진쎄미켐이 차세대 소재인 '극자외선 포토레지스트(EUV PR)' 개발에 박차를 가한다. 이 회사는 관련 연구를 진행할 인력을 보강하는 한편 EUV PR을 개발하기 위한 다양한 테스트를 진행하고 있는 것으로 알려졌다.

25일 업계에 따르면 동진쎄미켐은 올해 1분기 경력직원 채용 공고를 통해 'EUV PR용 PAG 합성 개발'을 담당할 석사 이상 인력 채용 공고를 냈다. 해당 인력은 향후 회사의 판교 연구개발(R&D) 센터에서 일할 것으로 보인다.

EUV PR은 반도체 초미세 공정에서 반드시 필요한 액체 소재다. 13.5나노(㎚) 파장의 EUV 광원을 활용한 노광 공정을 진행할 때 쓰인다. 동그란 웨이퍼 위에 골고루 도포된 뒤, 쪼여진 EUV 빛에 반응하면서 회로 모양을 남기는 역할을 한다.

포토레지스트의 구성. <자료=SK하이닉스 SEMICON2021 발표자료>
<포토레지스트의 구성. <자료=SK하이닉스 SEMICON2021 발표자료>>

PAG는 '광산 발생제'라는 화학물로 화학증폭(CAR) PR의 핵심 구성 물질이다. 해당 인력을 늘리면서 EUV PR 개발 연구 능력을 강화할 것으로 보인다.

동진쎄미켐은 현재 포토레지스트 사업에서 3D 낸드플래시 제조에 활용되는 불화크립톤(KrF) PR을 주력으로 생산한다.

회사는 차세대 먹거리 사업으로 EUV PR을 점찍고 연구개발에 박차를 가하고 있다. 2019년 국내 반도체 업계를 강타한 일본의 EUV 포토레지스트 수출 규제 사태 이후, 국내 공장에 들인 불화아르곤(ArF) 이머전 노광기 등 사내 인프라와 벨기에 반도체 연구 허브 IMEC의 EUV 노광기 등을 활용해 EUV PR 국산화에 도전하고 있다. EUV PR 시장은 JSR, 신에츠화학, TOK 등 일본 업체들이 90% 이상을 장악하고 있다.

동진쎄미켐은 차세대 사업 영위를 위해 지난해 김영선 전 ASML코리아 사장을 부회장으로 영입하기도 했다. 그는 EUV 노광 장비를 독점 생산하는 ASML서 경험을 바탕으로, 동진쎄미켐에서 EUV PR 등 각종 차세대 사업 진출과 영업에 관여하고 있는 것으로 알려진다.

특히 업계에서는 동진쎄미켐이 국내 대형 반도체 제조사와 긴밀하게 협업하고 있는 것으로 알려진다.

업계 관계자는 “회사가 자체 개발한 EUV PR 샘플 제품으로 회로 패턴 형성이 가능한 상황”이라며 “품질 유지 및 개선 등 다양한 개발 과정이 남은 것으로 안다”고 전했다.

국내에서는 동진쎄미켐 외에도 SK머티리얼즈 계열의 SK머티리얼즈퍼포먼스가 EUV PR 국산화를 진행하고 있다.

강해령기자 kang@etnews.com