나노종합기술원이 소재·부품·장비(소부장) 기업 지원을 위해 국내 최초로 12인치 반도체 테스트베드를 구축, 17일부터 공식 서비스를 시작한다. 기업은 신속한 반도체 핵심 소재 성능 테스트로 기술 자립화에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있다. 16일 대전 유성구 나노종합기술원에서 연구원이 확산 공정을 마친 12인치 웨이퍼를 살펴보고 있다.
대전=이동근기자 foto@etnews.com
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