초소형 정밀기계 기술(MEMS) 전문기업 멤스(대표 김세민)는 소형화에 따른 저전력·높은 민감도·고성능·대량생산이 가능한 멤스 미러 소자와 수소 감지 소자, 전력 소자 등을 개발했다고 16일 밝혔다.
국내에서 유일하게 종합적인 멤스 공정기술을 보유하고 있는 이회사는 독자적인 디바이스 설계 및 제조 기술을 확보하고 수입 대체를 통해 멤스 애플리케이션(앱)에 대한 원자재 국산화를 실현했다. 다양한 앱별 수요처 요구 스펙과 최적화 제품군 구성이 가능하다.
멤스 미러 소자는 드론용과 자동차용 라이다 시스템, 고해상도 광간섭단층촬영(OCT) 시스템, 내시경 등 의료기기, 빔프로젝터, 헤드업 디스플레이(HUD), 3D 스캐너, 3D 프린터, 멤스 광감쇄기(VOA), 멤스 광스위치 개발에 응용할 수 있다. 프랑스 ESRF, 미국 뉴로 비전, 남아프리카공화국 라이트웨어 등에 납품을 추진 중이다.
멤스 수소 감지 소자는 열전도율 타입 가스 검출 소자다. 수소차와 수소 발전소, 호기수소 검지, 변압기 수소검지, 누설수소 검지, 수소농도 관리 등 수소 활용 전 영역에서 안전관리를 위한 핵심 부품으로 수요가 늘어날 전망이다. 미국·유럽·일본 기업이 독점하고 있는 수소센서 시장 국산화를 위해 연세대·아모센스·현대자동차 등과 국가핵심소재연구 국책과제를 유치해 공동 개발에 뛰어들었다. 기존 촉매형 센서 내구성 문제를 해결할 수 있는 열전도 방식 멤스 센서 개발을 목표로 하고 있다.
질화갈륨(GaN) 기반 전력 소자는 송신기에서 에너지를 주파수에 실어 여러 수신기로 전달하는 고주파(RF) 원거리 무선 충전 기술의 핵심 소자다. 기기 간 거리가 떨어져 있어도 충전이 가능하다. RF 무선 전력 전송은 초연결 기반 미래사회 필수 인프라 기술로 다양한 응용 분야와 융합할 수 있다. 워프솔루션·한국광기술원과 공동개발 기술혁신개발사업 국책과제를 유치했다. GaN 기반 고신뢰성 전력 소자는 바이오헬스케어·정보기술(IT) 액세서리·의료기기·스마트공장 등의 사물인터넷(IoT) 센서로 활용할 수 있다.
김세민 대표는 “멤스 기반 소자 독자적인 설계 및 공정기술 기반으로 다양한 요구에 유연한 대처가 가능하다”면서 “급변하는 IT·반도체 응용 분야에서 최적의 제품으로 틈새시장을 공략해 기존 기업과 차별화된 전략으로 국내외 시장에 진출하겠다”고 말했다.
광주=김한식기자 hskim@etnews.com
