예스티는 고압 어닐링 장비 잠금장치 관련 HPSP의 특허(제1553027호)에 대한 소극적권리범위확인심판에서 승소했다고 27일 밝혔다.
특허심판원은 지난 25일 예스티가 청구한 2건의 소극적권리범위확인심판을 인용했다. 예스티의 잠금장치 구조가 HPSP의 특허와 다르다고 판정했다.
어닐링 장비는 반도체 웨이퍼를 고온에서 일정 시간 가열하고 천천히 식히는 장비다. 이러한 과정을 거치면 웨이퍼 내부 결정 결함 복구가 이뤄지면서 전기적 특성이 개선된다.
양사는 어닐링 장비의 챔버 구조와 관련한 특허 분쟁을 이어왔다. 시작은 HPSP가 2023년 8월 예스티를 상대로 특허침해소송을 제기하면서다. 이에 예스티는 특허무효심판과 소극적권리범위확인심판으로 대응했다. 소극적권리범위확이심판은 특허심파원에 자사가 보유한 특허가 상대 특허와 구조가 다르다는 공식 확인을 요구하는 것이다.
이번에 특허심판원은 HPSP 특허와 달리 예스티 장비는 외부회전체결링 없이 외부도어 자체가 회전하는 방식이며, 또 도어가 2개가 아닌 하나인 원도어 구조로 차이가 있다고 확인했다.
예스티는 현재 주요 반도체 회사로부터 웨이퍼를 넘겨받아 장비 성능을 평가하는 프로덕트 웨이퍼(PW) 평가를 진행 중이다. 이번 심결로 고객사에 생산라인에 장비를 반입해 진행하는 양산 테스트에서도 연내 가시적 성과를 거둘 수 있을 것으로 기대했다.
회사 관계자는 “예스티의 장비 구조가 HPSP 특허와 명백히 다른 만큼 남은 4건의 심판에서도 HPSP 특허의 유무효와 상관없이 침해 이슈는 발생하지 않을 것”이라고 강조했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
