DK컨소시엄이 반도체 유리기판 공정 라인을 구축한다. DK컨소시엄은 한·일 기판 소재와 유리 가공 기업 연합체로, 최근 주요 공정 기술을 확보하고 유리기판 시장 공략을 서두르고 있다. 내년 4분기 양산 로드맵을 수립했다.
6일 업계에 따르면, DK컨소시엄은 경기 지역에 반도체 유리기판 생산 거점을 마련하고, 올해 안에 공정 장비 발주(PO)를 시작한다. 현재 글로벌 고객사와 세부 사항을 조율하고 있다. 내년 3분기까지 라인 구축(셋업)을 완료하고, 4분기 가동하는 것이 목표다.
DK컨소시엄은 DK솔루션·아큐레이저·다이치코리아가 2023년 유리기판 공정 기술 개발을 목표로 결성했다. DK솔루션이 공정을 총괄하고, 아큐레이저는 레이저 장비 개발 및 공정 활용, 다이치코리아가 소재 개발을 맡고 있다. 다이치코리아는 일본 반도체 소재 기업 다이치의 한국 관계사다.
DK컨소시엄은 최근 중간형성층이라는 신소재를 활용, 유리기판 직접 도금 기술을 확보했다. 도금은 유리기판 내부에 미세한 구멍(TGV)을 뚫은 후 구리 등 금속을 채워 신호를 전달하기 위한 공정이다. 기술 난도가 높아 유리기판 양산 걸림돌로 꼽힌다.
DK컨소시엄 관계자는 “최근 확보한 직접 도금 기술은 기존 증착(스퍼터링) 공정처럼 높은 압력·온도 변화 없이 상온에서 도포 및 도금이 이뤄진다”며 “유리를 자극하지 않고 공정 단계를 줄일 수 있어 생산성이 높다”고 설명했다. 또 도금층(시드)이 1마이크로미터(㎛) 이하의 평탄도를 구현, 이후 진행되는 화학적기계연마(CMP) 공정에도 유리하다고 부연했다.
라인 구축은 기술 자신감을 토대로, 본격적인 시장 공략에 나서려는 행보로 풀이된다. 컨소시엄 내 각 기업의 역량을 모아, 레이저 드릴링·화학식각·도금 공정 등을 진행할 계획이다. 이후 반도체 유리기판 제조사에서 최종 마무리한다는 구상이다. DK컨소시엄은 510×515㎜ 원장 기준 월 1000장 정도 생산할 수 있는 공정 라인을 준비하고 있다. 향후 고객 수요를 고려, 점진적으로 생산 규모를 확대할 방침이다.
DK컨소시엄 관계자는 “최근 개발한 신소재와 공정은 글로벌 기업으로부터 성능 및 품질, 비용 등 생산성 측면에서 검증이 완료됐다”며 “국내 양산 라인 구축으로 본격적인 유리기판 상용화에 나설 것”이라고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
